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     ALD Sensor, MLD Sensor(MLD 센서, ALD센서)
 
ALD Sensor, MLD Sensor(MLD 센서, ALD센서)
 
Automic Layer Deposition, Molecular Layer Deposition 최적 센서
제품소개  
 

실시간 ALD/MLD 센서 시스템( QCM)

§ ALD/MLD 전용 QCM 센서 시스템

§ ALD/MLD의 질량 변화 측정에 최적 설계된 제품
§ QCM기반 실시간 질량변화 모니터링 시스템
§ 장시간의 데이터 측정에도 재현성 우수
§ 증착 CONTROLLER와의 INTERFACE 및 동기화 측정
§ 주문사양에 따라 증착 CONTROLLER 설계 가능

 

 

 

 


 

 

 

 

 









 






 

 

 

 

 

+  증착 공정

 

In-Situ Motoring 시스템

 


 

 


 


 






 

 

 

 

 


 
 
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