°í°´¼¾ÅÍ À̸ÞÀÏÁÖ¼Òº¹»ç

°ßÀû¹®ÀÇ

Áú¹®°ú´äº¯

°­Á¶õ
  QCM ÀÌÇØÇϱâ
     QCM ÀÌÇØÇϱâ
 
  QCM, ALD¼¾¼­ ¿ø¸®ÀÇ ÀÌÇØ¿Í ÀÀ¿ë( ng´ÜÀ§ Áú·®ÃøÁ¤, Á¡¼º, ¹Ðµµ, °¡½ººÐ¼®, °ÖÈ­,.....

QCMÀÇ ¿ø¸® ÀÌÇØ¿Í ÀÀ¿ë

( Áú·®, ź¼º,Á¡µµ, ¹Ðµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¿ø¸® ) 

ALD(Atomic Layer Deposition) Sensor

MLD(Molecular Layer Deposition) Sensor  

Thickness Monitor µîµµ °°Àº ¿ø¸®ÀÔ´Ï´Ù.

 

Piezoelectric È¿°ú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±â°èÀû Áøµ¿°ú Àü±âÀû Áøµ¿ÀÇ »óÈ£ ¿¬°á

Quartz CyrstalÀÇ Piezoelectric È¿°ú¿¡ ÀÇÇØ °íÀ¯ Áøµ¿ Á֯ļö°¡ ¹ß»ý
- ¨ç Quartz Crystal¿¡ PotentialÀ» °¡Çϸé
Ⱦ´Ü ¹æÇâÀ¸·Î ±â°èÀû Áøµ¿ ¹ß»ý => ±â°èÀû Áøµ¿ ´Ù½Ã PotentialÀ» ¹ß»ý => ÀÌ·Î ÀÎÇØ Àü±âÀûÀÎR, L, C¼ººÐÀ» °¡Áü
- ¨è Ⱦ´ÜÀ¸·Î ¹ß»ýÇÑ ±â°èÀû Áøµ¿ Á֯ļö°¡ Quartz Crystal Ç¥¸é¿¡ ÈíÂøµÈ ¹°Áú¿¡ ÀÇÇØ Á֯ļö º¯È­
- ¨é Quartz CrystalÀÇ Mechanical Model
- ¨ç, ¨è, ¨é ÀÇ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÏ¿© Quartz CrystalÀ» ¨ê¿Í °°Àº Àü±âÀû ¼ÒÀÚ¿Í °°ÀÌ Ãë±Þ µÉ¼öÀÖÀ½ÀÌ °ËÁõ µÇ¾ú´Ù. 

 

 

 

 

Quartz CrystalÀÇ ±â°èÀû Áøµ¿Á֯ļöÀÇ Á¶°Ç¿¡ µû¸¥ º¯È­

 

Quartz CyrstalÀº ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ¿©·¯°¡Áö Á¶°Ç¿¡ µû¶ó

Ⱦ¹æÇâÀ¸·Î Áøµ¿ÇÏ´Â ±â°èÀû Áøµ¿ Á֯ļö°¡ º¯È­ÇÑ´Ù.

 

  

 

 

 

 

 

ÃøÁ¤ ¿ä¼Ò

CV, CA, CP, SV, LSV Àü±âÈ­ÇÐ ºÐ¼®
ng ´ÜÀ§ Áú·® º¯È­ ÃøÁ¤
Á¡µµ ÃøÁ¤
Àü±âÈ­ÇÐ µµ±Ý µÎ²² ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ
Àü±âÈ­ÇÐ µµ±Ý Áú·® ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ
Á¡Åº¼º ºÐ¼®
¹Ú¸· À¯º¯ÇÐÀû ºÐ¼®
¹Ú¸· µ¿Æ¯¼º ÃøÁ¤
°¡½º ºÐ¼®
¹Ðµµ º¯È­ ºÐ¼®
°ÖÈ­ ¹ÝÀÀ ÃøÁ¤

 

Quartz CrystalÀÇ ±â°èÀû Áøµ¿Á֯ļöÀÇ Á¶°Ç¿¡ µû¸¥ Ư¼º ±×·¡ÇÁ 

  

 

 

Oscilator( Á֯ļö ¹ß»ý±â )

 

 

 

QCM = Oscilator ( Á֯ļö ¹ß»ý±â ) + QC( Phase Locked Loop )

 

  

 

¹°ÁúÀÇ À̵¿°ú Á֯ļöÀÇ º¯È­

 

RL°ªÀ» Á¶ÀýÇÏ¿© QCÀÇ R, L, C°ª°ú °øÁøµÈ Á֯ļö ¿µ¿ªÀÌ µÇ¾úÀ»¶§ DepositionÀ» 
  ½ÇÇàÇÏ°í ±× Á֯ļö º¯È­¸¦ °üÂûÇÏ¿© ¹°ÁúÀÇ À̵¿·®À» ÃøÁ¤ÇÑ´Ù.

 

 

 

Á֯ļöÀÇ º¯È­¿¡ µû¸¥ Áú·® º¯È­·® °è»ê À¯µµ½Ä( Sauerbrey )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Á֯ļöÀÇ º¯È­¿¡ µû¸¥ Áú·® º¯È­·® °è»ê À¯µµ½Ä Á¤¸®( Sauerbrey )

   

 

 

 

 

 

 

 
Top