QCMÀÇ ¿ø¸® ÀÌÇØ¿Í ÀÀ¿ë ( Áú·®, ź¼º,Á¡µµ, ¹Ðµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¿ø¸® ) ALD(Atomic Layer Deposition) Sensor MLD(Molecular Layer Deposition) Sensor Thickness Monitor µîµµ °°Àº ¿ø¸®ÀÔ´Ï´Ù.
|
Piezoelectric È¿°ú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±â°èÀû Áøµ¿°ú Àü±âÀû Áøµ¿ÀÇ »óÈ£ ¿¬°á |
|
|
Quartz CyrstalÀÇ Piezoelectric È¿°ú¿¡ ÀÇÇØ °íÀ¯ Áøµ¿ Á֯ļö°¡ ¹ß»ý - ¨ç Quartz Crystal¿¡ PotentialÀ» °¡Çϸé Ⱦ´Ü ¹æÇâÀ¸·Î ±â°èÀû Áøµ¿ ¹ß»ý => ±â°èÀû Áøµ¿ ´Ù½Ã PotentialÀ» ¹ß»ý => ÀÌ·Î ÀÎÇØ Àü±âÀûÀÎR, L, C¼ººÐÀ» °¡Áü - ¨è Ⱦ´ÜÀ¸·Î ¹ß»ýÇÑ ±â°èÀû Áøµ¿ Á֯ļö°¡ Quartz Crystal Ç¥¸é¿¡ ÈíÂøµÈ ¹°Áú¿¡ ÀÇÇØ Á֯ļö º¯È - ¨é Quartz CrystalÀÇ Mechanical Model - ¨ç, ¨è, ¨é ÀÇ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÏ¿© Quartz CrystalÀ» ¨ê¿Í °°Àº Àü±âÀû ¼ÒÀÚ¿Í °°ÀÌ Ãë±Þ µÉ¼öÀÖÀ½ÀÌ °ËÁõ µÇ¾ú´Ù.
Quartz CrystalÀÇ ±â°èÀû Áøµ¿Á֯ļöÀÇ Á¶°Ç¿¡ µû¸¥ º¯È
Quartz CyrstalÀº ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ¿©·¯°¡Áö Á¶°Ç¿¡ µû¶ó
Ⱦ¹æÇâÀ¸·Î Áøµ¿ÇÏ´Â ±â°èÀû Áøµ¿ Á֯ļö°¡ º¯ÈÇÑ´Ù.
ÃøÁ¤ ¿ä¼Ò
•CV, CA, CP, SV, LSV Àü±âÈÇÐ ºÐ¼®
•ng ´ÜÀ§ Áú·® º¯È ÃøÁ¤
•Á¡µµ ÃøÁ¤
•Àü±âÈÇÐ µµ±Ý µÎ²² ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ
•Àü±âÈÇÐ µµ±Ý Áú·® ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ
•Á¡Åº¼º ºÐ¼®
•¹Ú¸· À¯º¯ÇÐÀû ºÐ¼®
•¹Ú¸· µ¿Æ¯¼º ÃøÁ¤
•°¡½º ºÐ¼®
•¹Ðµµ º¯È ºÐ¼®
•°ÖÈ ¹ÝÀÀ ÃøÁ¤
Quartz CrystalÀÇ ±â°èÀû Áøµ¿Á֯ļöÀÇ Á¶°Ç¿¡ µû¸¥ Ư¼º ±×·¡ÇÁ
Oscilator( Á֯ļö ¹ß»ý±â )
QCM = Oscilator ( Á֯ļö ¹ß»ý±â ) + QC( Phase Locked Loop )
¹°ÁúÀÇ À̵¿°ú Á֯ļöÀÇ º¯È
- RL°ªÀ» Á¶ÀýÇÏ¿© QCÀÇ R, L, C°ª°ú °øÁøµÈ Á֯ļö ¿µ¿ªÀÌ µÇ¾úÀ»¶§ DepositionÀ» ½ÇÇàÇÏ°í ±× Á֯ļö º¯È¸¦ °üÂûÇÏ¿© ¹°ÁúÀÇ À̵¿·®À» ÃøÁ¤ÇÑ´Ù.
Á֯ļöÀÇ º¯È¿¡ µû¸¥ Áú·® º¯È·® °è»ê À¯µµ½Ä( Sauerbrey )
Á֯ļöÀÇ º¯È¿¡ µû¸¥ Áú·® º¯È·® °è»ê À¯µµ½Ä Á¤¸®( Sauerbrey )
|